泛林介绍世界首款半导体制作设备保护专用协作机器人 Dextro

  IT之家 12 月 11 日音讯，Lam Research 泛林集团当地时刻昨日对其打造的世界首款专为半导体制作设备保护打造的协作机器人（IT之家注：Collaborative Robot）Dextro 进行了介绍，并表明该型机器人

  Dextro协作机器人是一种坐落推车上的可移动机械臂设备，由制作技术人员或工程师来操控，凭借各种“手部东西”能很好地完结三项关键设备保护使命：

  准确拧紧高精度真空密封螺栓，人类职工用手完结这一重复性使命时错误率高达 5%；

  无需拆卸下腔室即可自动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积，以往人类需求装备重型呼吸防护设备才干履行此类使命。

  这意味着 Dextro 可协助晶圆厂工程师分管一般耗时、简单犯错或风险的保护使命，进步工艺全体准确度，削减劳动力需求、下降糟蹋、缩短停机，然后终究进步晶圆厂产值。

  泛林表明单个 Dextro 协作机器人能为 50 到 100 个泛林东西腔室供给服务，现在已可用于旗下 Flex G / H 系列介电刻蚀东西的支撑作业，自 2025 年开端将扩展至其它东西和使用。

  当制作设备要保护时，有必要快速高效地完结作业，以防止延伸东西停机时刻和糟蹋本钱。 Dextro 的无差错保护有助于推进出产在可变性和产值上的改善。这是三星迈向自主工厂的一个激动人心的里程碑。

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